重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
发布时间：2024-12-27 14:07:31 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论快科技10月25日消息，据华中科技大学官微消息，近日，该校武汉光电国家研究中心团队，在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍，其研发的T150A光刻胶系列产
。
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
相关文章
最近我本来以为电视圈没什么重磅消息，没想到前两天和圈内朋友聊天时，突然听到一个大瓜。他悄悄告诉我，TCL似乎在技术上有了新的突破，Mini LED行业的格局可能会迎来一次颠覆性的变化。这个消息一出来，2024-12-27
中兴通讯CSO王翔：数智升维 在不确定性时代找到确定性发展路径
11月27日，以“AI兴航，智联未来”为主题的第四届中兴通讯战略峰会在深圳举行，来自运营商及政企客户、行业头部企业、咨询机构和知名高校的专家学者齐聚一堂，围绕宏观洞察、5G及人工智能技术发展、智算创新2024-12-27
【曹操专车APP商标侵权案一审判决 法院认定未构成侵权】杭州滨江区法院对“曹操专车”商标侵权案一审判决，认为“曹操专车”不构成对“说曹操&r2024-12-27
《使命召唤：黑色行动6》测评！耕升 RTX 40 系列+DLSS 3技术重燃战场
《使命召唤》系列自2003年首次推出以来,就以其高质量的游戏体验和丰富的历史背景赢得了玩家的喜爱。从第二次世界大战到现代战争,再到未来的科幻战场,每一部作品都有其独特的时代背景。10月25日,由Tre2024-12-27
联发科正式发布天玑8400移动芯片：普及全大核架构 多核性能提升41%
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！2024年12月23日，全球领先的芯片制造商Medi2024-12-27
中国网财经7月3日讯 7月3日，广晟健发发布公告称，公司股东梁浩质押1200万股，为公司融资3000万元提供担保。公告显示，广晟健发质押1200万股，占公司总股本5.18%。本次质2024-12-27
最新评论